Газовый скруббер СГЖ предназначен для абсорбционной очистки отработанных газов в полупроводниковом производстве от опасных составляющих и имеет две основные функции:

улавливание абсорбером водорастворимых газов,

нейтрализация жидкости щелочным раствором.

Скруббер работает при атмосферном давлении - подключается к выходу вакуумного насоса, обслуживающего технологический реактор, и к вытяжной вентиляции предприятия.

Скруббер СГЖ позволяет осуществлять замену технологической жидкости со сливом в обычную промышленную канализацию.

Скруббер сконструирован в шкафном исполнении, представляет собой металлический каркас, обшитый стальными листами, внутри которого расположены полипропиленовый двухступенчатый абсорбер, система циркуляции жидкости, система контроля и управления.

Спереди скруббер имеет распашную дверь с двумя смотровыми окнами и замком, сбоку (слева) - откидная панель.

Базовая комплектация скруббера модель СГЖ-200 обеспечивает очистку газов без использования средств автоматизации управления.Опция - автоматизация процесса в расширенной комплектации скруббера обеспечивается набором датчиков давления, емкостными выключателями. Скруббер с помощью программируемого логического контроллера (ПЛК) автоматически включается/выключается при запуске/остановке технологического оборудования, осуществляет постоянный контроль состояния жидкости по рН и температуре.ПАРАМЕТРЫСГЖ-200Максимальный газовый поток через абсорбер, л/мин200Функция автоматизации управления (ПЛК «Овен» СПК110)опцияВход газаKF40Выход газаKF50Слив в канализациюМуфта DN40Подача азота, л/мин5...10Подача воды, л/мин2...4Электропитание220В / 50Гц / 0,4ВтВытяжная вентиляцияØ150 мм / 100 м3/часГабаритные размеры, мм, ШхГхВ804х620х1900Масса, кг, не более250Климатическое исполнение по ГОСТ 15150УХЛ4

Вернуться